Минпромторг РФ объявил конкурс на создание российского оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Бюджет разработки составляет 1,4 млрд рублей. Цель проекта — замена импортных американских и японских систем, которые сейчас используются на производствах в России.
Новая автоматизированная линия будет обрабатывать пластины диаметром 100, 150 и 200 мм, обрабатывая до 100 штук за цикл. Система использует восемь видов реагентов: плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак, перекись водорода и другие. Ключевое требование — строгая изоляция несовместимых веществ.
Контрагент обязан произвести в РФ ключевые узлы: ротор, систему подачи химии, контроллеры и ПО. Сроки сдачи готовой установки — ноябрь 2029 года. Имя победителя тендера пока не раскрыто.
Эксперт НТИ по микроэлектронике Сергей Сазонов отмечает, что качество микросхемы напрямую зависит от чистоты на стадии химической обработки. Это заказ — часть масштабной кампании по импортозамещению. С лета 2026 года на такие работы уже выделено около 7,6 млрд рублей.
По данным министерства, объем производства оборудования для электроники вырос с 2,93 млрд рублей в 2023 году до 5,32 млрд рублей в 2025-м. В 2026 году ожидается рост на 5% — до 5,58 млрд рублей.
